5月13日，韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部對(duì)外宣布，全球光刻機(jī)龍頭大廠阿斯麥(ASML)計(jì)劃在韓國(guó)建設(shè)光刻設(shè)備再制造工廠及培訓(xùn)中心，新廠預(yù)計(jì)在2025年建設(shè)完成。

ASML是一家總部設(shè)在荷蘭艾恩德霍芬的全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商，都向ASML采購(gòu)TWINSCAN機(jī)型，比如英特爾(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、臺(tái)積電(TSMC)、中芯國(guó)際(SMIC)等。

回歸正題，ASML的再制造廠，究竟有何玄機(jī)?所謂再制造，指的是以舊的機(jī)器設(shè)備為毛坯，采用專門(mén)的工藝和技術(shù)，在原有制造的基礎(chǔ)上進(jìn)行一次新的制造，而且重新制造出來(lái)的產(chǎn)品無(wú)論是性能還是質(zhì)量都不亞于原先的新品。而此次ASML計(jì)劃在韓國(guó)新建的EUV再制廠，主要用途就是為韓國(guó)當(dāng)?shù)剡\(yùn)行的EUV光刻機(jī)維護(hù)、升級(jí)提供助力。

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，就是ASML將淘汰的舊設(shè)備、故障設(shè)備進(jìn)行修復(fù)，使其恢復(fù)如新。

對(duì)芯片制造商來(lái)說(shuō)，先進(jìn)的光刻機(jī)至關(guān)重要。目前最先進(jìn)的5nm制程工藝，需要大量的光刻機(jī)。眾所周知，ASML是全球唯一一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。但是ASML的EUV光刻機(jī)產(chǎn)能十分有限，一年只能生產(chǎn)30臺(tái)左右EUV光刻機(jī)。

而全球?qū)饪虣C(jī)的需求也在不斷激增，除了在產(chǎn)能方面發(fā)力之外，延長(zhǎng)當(dāng)前運(yùn)行光刻機(jī)的使用壽命，也是必要工作。光刻機(jī)的使用壽命延長(zhǎng)，不僅可以減輕當(dāng)?shù)禺a(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)壓力，也能為產(chǎn)能不足提供一定的緩沖。

其次，這對(duì)我國(guó)來(lái)說(shuō)也是一個(gè)好消息。在2019年，中芯國(guó)際就向AML訂購(gòu)了一臺(tái)光刻機(jī)，但美國(guó)一直放行。所謂條條大路通羅馬，美國(guó)一直不肯讓阿斯麥向中企供應(yīng)EUV光刻機(jī)，我國(guó)企業(yè)也想出了其他招數(shù)應(yīng)對(duì)。

例如，2020年9月，我國(guó)半導(dǎo)體材料制造商晶瑞股份就發(fā)布公告，宣布該司以1102.5萬(wàn)美元的價(jià)格，從韓國(guó)SK海力士手上購(gòu)入了一臺(tái)二手ASML光刻機(jī)。

由此看來(lái)，如今ASML有意對(duì)韓國(guó)的一些EUV光刻機(jī)設(shè)備進(jìn)行更新升級(jí)，或許將來(lái)中企也能從韓國(guó)企業(yè)手中承接一些二手的EUV光刻機(jī)設(shè)備。

值得一提的是，此前韓國(guó)便已發(fā)布了半導(dǎo)體強(qiáng)國(guó)建設(shè)戰(zhàn)略規(guī)劃，將半導(dǎo)體研發(fā)稅額抵扣率提升至40～50%，并且還擬斥資約4500億美元建設(shè)全球最大的芯片制造基地，韓國(guó)想躋身芯片半導(dǎo)體大國(guó)行列的意圖不言而喻，此次阿斯麥赴韓國(guó)建廠，對(duì)加快韓國(guó)半導(dǎo)體建設(shè)將會(huì)有很大的助力。